Bit-Rauschen: Der Prozessor-Podcast von c’t EUV-Lithografie: Die Riesenmaschine | Bit-Rauschen 2022/14
Die feinsten Strukturen aktueller Prozessoren, Smartphone- und Grafikchips messen weniger als 10 Nanometer. Bei der Fertigung solcher Chips kommen Lithografiemaschinen zum Einsatz, die mit kurzwelligem Licht aus dem extremen ultravioletten (EUV-)Spektrum arbeiten – fast schon Röntgenstrahlung.
EUV-Lithografiesysteme kann bisher als einzige Firma weltweit ASML aus den Niederlanden fertigen. In den 200 Tonnen schweren und 150 Millionen Euro teuren Maschinen stecken auch viele Teile aus Deutschland, darunter die Lichtquelle von Trumpf, Zeiss und dem Fraunhofer IOF. Alleine im Anregungslaser stecken 450.000 Bauteile.
Weshalb dieser extreme Aufwand nötig ist, wie die unglaublich komplizierte Lichtquelle arbeitet und weshalb die nächste „High NA“-Generation der EUV-Maschinen noch teurer und größer wird, darüber sprechen Carsten Spille und Christof Windeck in Foge 2022/14 von „Bit-Rauschen: Der Prozessor-Podcast von c’t“.
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